ニコン、世界初のサブミクロン解像度のFPD露光装置「FX-6ASLH」を受注開始

解像度0.85μm（L/S）を実現


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株式会社ニコンは、FPD露光装置として世界で初めて※1サブミクロンの解像度を実現する、解像度0.85μm※2※3（L/S※4）のFPD露光装置「FX-6ASLH」の受注を開始しました。本製品は、第6世代プレートサイズ※5対応で、先端スマートデバイスに用いられる高精細有機ELおよび液晶パネル製造に最適な露光装置です。

※1　2026年10月26日時点で発表済みのFPD露光装置において。ニコン調べ
※2　1µm（マイクロメートル）は、100万分の1メートル（1000分の1mm）を表す
※3　解像度0.85μmは、位相差マスクおよび化学増幅型レジスト使用時
※4　Line and Spaceの略。配線の幅と、隣り合う配線同士の間隔のこと
※5　中小型パネル向け、1,500 mm × 1,850 mmサイズのガラス基板

発売概要

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開発の背景
先端スマートデバイスの更なる高精細化・高機能化を見据え、中小型パネル向け第6世代プレートサイズ対応のFPD露光装置には、従来を上回る1.0μm（L/S）未満の解像力が求められています。そこで、ニコンは世界初となる0.85μmの高解像度を実現するFPD露光装置を新たに開発しました。


主な特長
解像度0.85μm（L/S）を実現
UV-LED光源を搭載した新規開発の照明光学系により、第6世代プレートサイズにおいて、0.85µm（L/S）および1.0μm（C/H※6）の解像度を実現しました。サブミクロンの解像度は、FPD露光装置として世界で初めてです。歪みが発生しやすい大型基板においても、フォーカスをリアルタイムで補正しながら、均一な線幅でプレート全面に露光することが可能です。

※6　Contact Holeの略。上下の層を電気的に接続するための穴の大きさ


重ね合わせ精度±0.18μm以下を達成
マルチレンズシステム※7を構成する各レンズを、基板の状態に合わせて精密に制御するとともに、装置内の環境を適切に管理することで、第6プレートサイズ対応として最高水準※8となる重ね合わせ精度±0.18µm以下を実現しました。これにより、歩留まりの高い量産プロセスの実現に貢献します。

※7　複数の投影レンズを並べて精密に制御することで1本の巨大レンズを用いたかのように露光するニコンの独自技術。1回の露光で広範囲のパターニングが可能となる
※8　2026年10月26日時点で発表済みのFPD露光装置において。ニコン調べ


UV-LED光源の採用で高解像度と高生産性を両立
照度の高いUV-LED光源の採用により、サブミクロンの解像度と高い生産性を両立し、優れたパフォーマンスを発揮します。


主な性能

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関連リンク
ニコン・ホームページ　FPD露光装置 | FPD露光
https://www.business.nikon.com/ja/products-and-services/fpd-lithography/systems/