世界最高分解能 0.16μmで自動検査　ハイエンドX線検査装置TI-X900sを発売

急増する先端デバイス需要に応える高精度非破壊検査で次世代テクノロジーの信頼性向上に貢献



テクノホライゾン株式会社（STANDARD：証券コード6629） （本社：名古屋市南区千竃通二丁目13番地1　代表取締役社長：野村　拡伸）は、これまでのX線検査装置のラインナップに加え、世界最高分解能 0.16μmで自動検査を行うハイエンドX線検査装置 TI-X900sを2025年3月より発売いたします。
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世界最高分解能0.16μmで自動検査、ハイエンドX線検査装置 TI-X900s

■特長
TI-X900sは発展的な発想による独自性・創造性を持ったハードウェアとアプリケーションにて持続的な品質管理に貢献します。
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■ 高分解能撮像
従来機よりも分解能を高め、より高い解像度の画像撮影を実現し最先端半導体の検査に対応します。



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■ 高精細な3D画像
高精度リニアスケールによるXYステージ位置決めで、クリアな高精細3D画像を取得します。



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■ 大型ワーク対応
大型ワークテーブルにて、最大600×620サイズまで搭載可能で、 見たいところを簡単に観察できます。



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■ 自動検査精度技術
倍率追従による自動反り補正と撮像位置合わせ機能が備わっており、 自動検査精度の向上に貢献します。



■主な仕様
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