ウェハ向け一括投影露光装置UX-4シリーズの新製品 「UX-45114SC」を受注開始
「高強度タイムストレッチ近赤外分光による錠剤有効成分量の高速測定」がNIR Advance Awardを受賞
光電融合に対応、ウシオがピッチ補償光学系と位相シフト形成機能を備えた新たな干渉露光装置を開発
解像度1.5μmのステッパ露光装置 リリース予定のお知らせ~アドバンスドパッケージ向けラインナップ拡充~
ウシオ、ams-OSRAMグループのランプ事業を買収