株式会社 東芝のプレスリリース
【東芝】高低差がナノスケールの極微小な欠陥をワンショットで3D形状に可視化する光学検査技術を開発 -独自の光学機器とアルゴリズムで、半導体製造における極微小な欠陥を1枚の撮像画像から瞬時に識別-
- 発表会社
- 株式会社 東芝
- 配信日時
- 2025-02-26 11:18:07
- カテゴリ
- 製品
【東芝】高低差がナノスケールの極微小な欠陥をワンショットで3D形状に可視化する光学検査技術を開発 -独自の光学機器とアルゴリズムで、半導体製造における極微小な欠陥を1枚の撮像画像から瞬時に識別-