リンテック、つくばに先端半導体向け新拠点、CNT製ペリクルの本格生産へ布石
2026年5月22日 07:04
■フルサイズサンプル供給に着手、検査装置なども段階導入
リンテック<7966>(東証プライム)は5月21日、産業技術総合研究所つくばセンター中央事業所内に「リンテック つくばイノベーティブクリエーションセンター」を開設すると発表した。開設予定日は2026年6月1日で、所在地は茨城県つくば市東1-1-1。常勤約30人の体制を予定する。
同拠点には、先端半導体の微細回路形成に欠かせないEUV露光機用ペリクルの生産設備を導入する。ペリクルはフォトマスクへの異物付着を防ぐ防塵材料で、露光機の性能向上に伴い、耐熱性、耐久性、透過性でより高い性能が求められている。
同社グループは、米国テキサス州の研究開発拠点と国内の研究開発本部が連携し、CNT製ペリクルの開発を進めてきた。2023年には産総研先端半導体研究センターと共同研究に着手し、翌年にはCNT製ペリクル膜の生産設備を開発した。新拠点ではフルサイズのペリクルサンプル供給を始め、検査装置などを段階的に導入し、本格生産へ向けた取り組みを加速する。今期以降の連結業績への影響は未定としている。(情報提供:日本インタビュ新聞社・株式投資情報編集部)