リンテック　大幅反発、ペリクルの量産報道が伝わり

2026年5月21日 14:06

*14:06JST リンテック---大幅反発、ペリクルの量産報道が伝わり
リンテック<a href="https://web.fisco.jp/platform/companies/0796600?fm=mj" target="_blank" rel="noopener noreferrer">＜7966＞</a>は大幅反発。最先端半導体の製造時に使う防じん膜の量産を26年内にも開始すると報じられている。量産するのは、EUV露光装置向けで、フォトマスクを保護する「ペリクル」とよばれる部材。カーボンナノチューブを使ったペリクルを開発している。つくば市にある産総研の施設に量産設備を設け、年間1万枚の生産を計画。総投資額は70億円規模を見込んでいるもよう。AI投資拡大によるメリット享受期待がより意識される展開にも。《AT》