ギガフォトン、LPP EUV光源でデューティーサイクル50%、出力42W、3時間連続運転に成功

EUVリソグラフィ装置用のプロトタイプLPP光源として量産への最終段階に突入

（栃木県小山市）- （ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプにおいて、半導体量産工場と同レベルのデューティーサイクル50%にて出力42 W、3時間の連続運転に成功したと本日発表しました。

この成果は、Snターゲット（すずのドロップレット）に対して、固体プリパルスレーザーと炭酸ガス（CO2）レーザーを組み合わせて最適化し照射することによって達成されました。今回ギガフォトンが達成した出力42 W、デューティーサイクル50%での3時間連続運転は、量産対応EUVスキャナーの実現が最終段階に入ったことを意味しています。今後、同社では量産対応EUVスキャナーの実現に向けて、プロトタイプLPP光源で2014年末までに150 Wの出力、2015年までに量産向けLPP光源で250Wでの24時間連続運転を目指し更なる研究開発に取り組んでいきます。

このプロトタイプLPP光源は、すず（Sn）ドロップレットを、固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスで照射することでEUVを発光させます。また、コレクターミラーの寿命を最大限に延ばすために、超伝導磁石で強力な磁場を発生させ、すずドロップレットの熱膨張から発生する不要なデブリを、スズキャッチャーへ導いて除去します。更に、20 µmより小さい極小のすず（Sn）ドロップレットを採用することで、ドロップレットジェネレータの長寿命化、ダウンタイムとコストの低減を可能にしています。　

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOである都丸仁氏は、次のようにコメントしています。　「出力42 W、デューティーサイクル50%での3時間連続運転に成功したことは、半導体量産工場が待望する高出力、低ランニングコストで安定稼働が可能なLPP光源の完成が間近であること示しています。ギガフォトンの高度な技術力と量産に向けた開発努力が、量産用EUVリソグラフィスキャナーの開発を加速し、次世代露光技術としてのEUVスキャナーの導入時期を一層早めることができると確信しております」。

本件を含むギガフォトンの最新のEUV光源開発状況については、10月27日から29日まで米国ワシントンDCで開催されるEUVリソグラフィに関する国際シンポジウム（2014 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography）で発表予定です。なお、同社も本シンポジウムを協賛しております。

*本件は、独立行政法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）」の助成プログラムの成果を活用しています。

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーによって使用されるユーザーフレンドリーな、高性能DUVレーザー光源を開発、供給してきました。

ギガフォトンの、特許を取得した革新的技術であるLPP EUVソリューションは、費用対効果と生産性に優れた量産向けEUVスキャナーの実現に向けて先導的役割を果たしています。グローバルなビジネス展望を持って、ギガフォトンは、研究開発から製造までのあらゆる事業分野においてエンドユーザーのニーズに焦点をあて、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートでリソグラフィ光源を供給する世界No. 1企業になるよう努めております。詳細は、http://www.gigaphoton.comをご覧ください。





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寺島克知
ギガフォトン株式会社
経営企画部
TEL：　 0285-37-6931
Eメール： web_info@gigaphoton.com

プレスリリース情報提供元：ビジネスワイヤ