レーザーテック、次世代EUV向け欠陥検査装置「M9750/M9751」を発表

■高感度・高スループットの新型マスク検査装置を製品化

　レーザーテック<6920>(東証プライム)は12月8日、次世代半導体向けEUVマスクブランクスおよびサブストレートの欠陥検査・レビュー装置「MAGICS」シリーズの新製品「M9750/M9751」を発表した。従来機に比べ高感度化と高スループット化を両立した最新鋭機として製品化した。

　同シリーズは業界標準機として出荷検査や受入検査、プロセス管理に活用されてきた。微細化が進むEUVマスク分野の新構造に対応するため、検査光学系を刷新し、高速検査回路技術を採用することで微小欠陥の検出感度を大幅に向上させた。高精度X-Yステージの搭載により欠陥座標精度も改善した。

　M9751はライン&スペースのモニターパターン検査にも対応する。すでに多くの引き合いがあり、複数台の納入が決定している。レーザーテックは次世代高品質マスクブランクスの出荷品質向上やマスク製造プロセス管理の高度化に貢献するとしている。(情報提供:日本インタビュ新聞社・株式投資情報編集部)

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